天车投影灯在精*制造场景(如半导体搬运)中需要满足一系列特殊要求,以确保生产环境的洁净度、安全性和操作精度。以下是主要要求:
洁净度与污染控制
材料选择:需采用不锈钢、阳*氧化铝等低释气、耐腐蚀、表面光滑的材质,避免产生粉尘。
封闭设计:驱动单元(如电机、减速箱)需密封,防止油脂泄漏和颗粒物产生;传动部件需特殊设计以减少金属碎屑。
气流扰动控制:采用低振动、低噪音驱动技术,实现平稳启停,避免搅动空气;部分型号需集成风速控制功能,减少对层流气流的影响。
防静电与安全性能
防静电设计:需防止静电积聚,避免对敏感半导体元件造成损害。
防爆要求:在锂电池等制造场景中,需满足防爆安全标准。
定位精度与运行稳定性
高精度定位:天车系统行走定位精度需达±1mm,确保晶圆搬运的准确性。
抗干扰能力:需抵抗环境光线(如100,000 Lux照度),并采用冗余设计(如DM码带)避免误读,数据更新周期可快至10ms。
行业标准与认证
SEMI标准:需符合SEMI S2等半导体设备安全规范,确保与自动化物料传输系统(AMHS)兼容。
CE认证:若出口欧盟,需满足低电压指令(LVD)和电磁兼容性指令(EMC)要求,通过绝缘电阻、介电强度等测试。
环境适应性
耐消毒剂:在医药行业,需耐受酒精、过氧化氢等消毒剂腐蚀,且无缝隙设计防止微生物滋生。
温度控制:照明设备需控制热量,避免影响无尘车间的温湿度环境。
综上,天车投影灯在精*制造中需兼顾洁净度、精度、安全性和行业合规性,其设计需跨学科协作以满足严苛的工业需求。
HFRL-I-A-G-20雷达物位计
HFRL-I-A-G-35雷达物位计
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ULM-31A1HP-LC雷达物位计
